MIC-028-111-F
產品參數
材質:采用SEMI F20 UHP(超高純)級別不銹鋼
漏率:漏率 ≤ 1×10 -10Pa.m3/sec.He
表面化學特性:產品電解拋光處理,Cr/Fe≥2.5,Cr-O/Fe -O≥3.5, 氧化層厚度≥20埃,粗糙度≤Ra0.1μm
清洗與包裝:無塵室超潔凈清洗包裝
技術標準:最高承受溫度200°C,最大工作壓力130MPa
質量保證:全材料和工藝過程可追溯
滾動
流道面技術標準
耐腐蝕性優秀的耐腐蝕性能,表面Cr/Fe>2.5,Cr-O/Fe-0≥3.5;
清潔度流道面超高純精密清潔,表面清潔度滿足Semi F19 5.6 UHP要求。






















