MIC-028-311
產(chǎn)品參數(shù)
材質(zhì)：采用SEMI F20 UHP(超高純)級(jí)別不銹鋼
漏率：漏率 ≤ 1×10 -10Pa.m3/sec.He
表面化學(xué)特性：產(chǎn)品電解拋光處理，Cr/Fe≥2.5,Cr-O/Fe -O≥3.5, 氧化層厚度≥20埃，粗糙度≤Ra0.1μm
清洗與包裝：無(wú)塵室超潔凈清洗包裝
技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)：最高承受溫度200°C，最大工作壓力130MPa
質(zhì)量保證：全材料和工藝過(guò)程可追溯
滾動(dòng)
流道面技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
耐腐蝕性優(yōu)秀的耐腐蝕性能,表面Cr/Fe>2.5,Cr-O/Fe-0≥3.5;
清潔度流道面超高純精密清潔,表面清潔度滿足Semi F19 5.6 UHP要求。
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